DVM分子泵系列

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DVM涡轮分子泵系列

DVM涡轮分子泵非常适合应用于实验室对超高真空的需求。分子泵采用精密脂润滑陶瓷轴承,免维护时间远远大于采用油润滑轴承分子泵,相比油润滑轴承分子泵,其更适合洁净气体的抽吸。


主要应用场景:

1. 适合抽吸洁净气体、少量水蒸气、微量腐蚀性气体

2. 适合应用于物理、半导体领域的配套装置,如:PVD、PLD、MBE、CVD、同步辐射

3. 适合配套实验室深冷研究装置

4. 适合配套分析实验装置,如:电镜、质谱、生物质谱分析装置

5. 适合配套超高真空提取SAFE装置



主要特点:

1. DVM分子泵采用KF真空接口模块,极限真空可达5×10-7mbar (自适应中等转速,取决于系统密封性)

2. DVM分子泵采用CF真空接口模块,极限真空可达2×10-9mbar (极限真空取决于接口密封形式,非分子泵的性能指标;自适应到最高转速,取决于系统密封性

3. 分子泵前级泵(要求小于5mbar)可选:干式隔膜真空泵、干式变频涡卷式真空泵、干式螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、旋片真空泵(油泵)等

型号

DVM80

DVM150

DVM300

DVM600

DVM700

DVM1300

DVM2000

抽气速度

L/s

Ar: 63

N2 : 64

Ar: 141

N2 : 146

Ar: 256

N2 : 261

Ar: 625

N2 : 630

Ar: 681

N2 : 686

Ar: 1280

N2 : 1285

Ar: 1950

N2 : 1955

极限真空

mbar

5×10-9

2×10-9

2×10-9

2×10-9

2×10-9

8×10-10

8×10-10

进气连接

DN63CF

(KFISO)

DN100CF

(KFISO)

DN100CF

(KFISO)

DN150CF

(KFISO)

DN160CF

(KFISO)

DN160CF

(KFISO)

DN250CF

(KFISO)

排气连接

DN16KF

DN25KF

DN25KF

DN40KF

DN40KF

DN40KF

DN50KF

轴承形式

精密脂润滑陶瓷轴承

**转速

rpm

70000

50000

50000

24000

36000

24000

24000

启动时间

min

< 2.0

< 2.0

< 3.5

< 5.0

振动 um

< 0.05

< 0.1

噪音

dB(A)

< 55

< 56

建议启动真空度

< 2 mbar   (最低要求 < 5 mbar)

安装方式

任意角度安装

烘烤温度

< 100

冷却方式

风冷或者水冷

水冷

重量

kg

3.6

8.6

11.0

30.0

25.0

27.0

35.0







类型
DVM分子泵系列
材质
不锈钢
品牌
登弗森
型号
DVM系列