分子泵组DVMS系列

分子泵组由中高真空获得设备前级泵和高真空涡轮分子泵组合而成。

主要应用场景：

1. 适合抽吸洁净气体、少量水蒸气、微量腐蚀性气体

2. 适合应用于物理、半导体领域的配套装置，如：PVD、PLD、MBE、CVD、同步辐射

3. 适合配套实验室深冷研究装置

4. 适合配套分析实验装置，如：电镜、质谱、生物质谱分析装置

5. 适合配套超高真空提取SAFE装置

主要特点：

1. DVMS泵组采用KF真空接口模块，极限真空可达5×10^-7mbar（自适应中等转速，取决于系统密封性）

2. DVMS泵组采用CF真空接口模块，极限真空可达2×10^-9mbar (极限真空取决于接口密封形式，非分子泵的性能指标；自适应到最高转速，取决于系统密封性）

3. 分子泵前级泵（要求小于5mbar）可选：干式隔膜真空泵、干式变频涡卷式真空泵、干式螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、旋片真空泵（油泵）等

4. 分子泵与前级泵之间配套止回阀，密封泵送系统，运行安全

5. 分子泵与前级泵之间配套皮拉尼数字显示真空计（测量范围10^-3mbar 到常压），数显提醒分子泵启动/关闭时的真空度，更利于操作人员使用

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